• 78

ห้องสะอาดและการประชุมเชิงปฏิบัติการการทำให้บริสุทธิ์: การจำแนกเกรดความสะอาดและมาตรฐานเกรด

ห้องสะอาดและการประชุมเชิงปฏิบัติการการทำให้บริสุทธิ์: การจำแนกเกรดความสะอาดและมาตรฐานเกรด

การพัฒนาเวิร์กช็อปไร้ฝุ่นมีความเชื่อมโยงอย่างใกล้ชิดกับอุตสาหกรรมสมัยใหม่และเทคโนโลยีล้ำสมัย ในปัจจุบัน การใช้งานดังกล่าวค่อนข้างแพร่หลายและเติบโตเต็มที่ในด้านชีวเภสัชภัณฑ์ การแพทย์และสุขภาพ อาหารและเคมีรายวัน เลนส์อิเล็กทรอนิกส์ พลังงาน อุปกรณ์ที่มีความแม่นยำ และอุตสาหกรรมอื่น ๆ
 

ระดับความสะอาดของอากาศ (ระดับความสะอาดของอากาศ): เกรดมาตรฐานที่จัดประเภทตามขีดจำกัดความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มากกว่าหรือเท่ากับขนาดอนุภาคที่พิจารณาในปริมาตรหน่วยของอากาศในพื้นที่ที่สะอาด ประเทศจีนดำเนินการทดสอบและยอมรับการประชุมเชิงปฏิบัติการไร้ฝุ่นตามเงื่อนไขที่ว่างเปล่า คงที่ และไดนามิก ซึ่งสอดคล้องกับ "รหัสการออกแบบโรงงานสะอาด GB 50073-2013" และ "รหัสการก่อสร้างและการยอมรับห้องสะอาด GB 50591-2010"
 

ความสะอาดและการควบคุมมลพิษอย่างต่อเนื่องเป็นมาตรฐานหลักในการตรวจสอบคุณภาพของโรงปฏิบัติงานไร้ฝุ่น มาตรฐานนี้แบ่งออกเป็นหลายระดับตามสภาพแวดล้อมในภูมิภาค ความสะอาด และปัจจัยอื่นๆ ที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ มาตรฐานสากลและมาตรฐานอุตสาหกรรมระดับภูมิภาคในประเทศ

 

มาตรฐานสากล ISO 14644-1 - การจำแนกเกรดความสะอาดของอากาศ

ระดับความสะอาดของอากาศ (N)
ขีดจำกัดความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มากกว่าหรือเท่ากับขนาดอนุภาคที่ทำเครื่องหมายไว้ (จำนวนอนุภาคอากาศ/m³)
0.1 หนอ
0.2 อืม
0.3 อืม
0.5 อืม
1.0 อืม
5.0 อืม
ISO คลาส 1
10
2
       
ISO คลาส 2
100
24
10
4
   
ISO คลาส 3
1,000
237
102
35
8
 
ISO คลาส 4
10,000
2,370
1,020
352
83
 
ISO คลาส 5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISO คลาส 6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISO คลาส 7
     
352,000
83,200
2,930
ISO คลาส 8
     
3,520,000
832,000
29,300
ISO คลาส 9
     
35,200,000
8,320,000
293,000
หมายเหตุ: เนื่องจากความไม่แน่นอนที่เกี่ยวข้องกับกระบวนการวัด จึงต้องใช้ตัวเลขความเข้มข้นที่ถูกต้องไม่เกินสามค่าในการกำหนดระดับเกรด

 

ตารางเปรียบเทียบระดับความสะอาดโดยประมาณในประเทศต่างๆ

รายบุคคล

/ ม. ≥0.5um

ISO14644-1(1999)
ยูเอส209อี(1992)
ยูเอส209ดี(1988)
EECCGMP(1989)
ฝรั่งเศส
อัฟนอร์(1981)
เยอรมนี
วีดีไอ 2083
ญี่ปุ่น
เจเอโอเอ(1989)
1
-
-
-
-
-
-
-
3.5
2
-
-
-
-
0
2
10.0
-
M1
-
-
-
-
-
35.3
3
M1.5
1
-
-
1
3
100
-
M2
-
-
-
-
-
353
4
M2.5
10
-
-
2
4
1,000
-
M3
-
-
-
-
-
3,530
5
M3.5
100
เอ+บี
4,000
3
5
10,000
-
M4
-
-
-
-
-
35,300
6
M4.5
1,000
1,000
-
4
6
100,000
-
M5
-
-
-
-
-
353,000
7
M5.5
10,000
C
400,000
5
7
1,000,000
-
M6
-
-
-
-
-
3,530,000
8
M6.5
100,000
D
4,000,000
6
8
10,000,000
-
M7
-
-
-
-
-

คำอธิบายเกรดการประชุมเชิงปฏิบัติการไร้ฝุ่น (ห้องสะอาด)

ประการแรกคือแบบจำลองการกำหนดระดับดังต่อไปนี้:
คลาส X (ที่ Y μm )
ซึ่งหมายความว่าผู้ใช้กำหนดว่าปริมาณอนุภาคของห้องคลีนรูมต้องเป็นไปตามขีดจำกัดของเกรดนี้ในขนาดอนุภาคเหล่านี้ สิ่งนี้สามารถลดข้อพิพาทได้ นี่คือตัวอย่างบางส่วน:
คลาส 1 (0.1μm, 0.2μm, 0.5μm)
คลาส 100(0.2μm, 0.5μm)
คลาส 100(0.1μm, 0.2μm, 0.5μm)
ในคลาส 100 (M 3.5) และมากกว่า (คลาส 100, 1000, 10,000….) โดยทั่วไปขนาดอนุภาคขนาดเดียวก็เพียงพอแล้ว ในคลาสที่น้อยกว่า 100 (M3.5) (คลาส 10, 1….) โดยทั่วไปจำเป็นต้องพิจารณาขนาดอนุภาคเพิ่มเติมอีกหลายขนาด

เคล็ดลับที่สองคือการระบุสถานะของห้องคลีนรูม เช่น
คลาส X (ที่ Y μm ),ขณะพัก
ซัพพลายเออร์ทราบดีว่าห้องคลีนรูมจะต้องได้รับการตรวจสอบในสถานะพักการทำงาน

เคล็ดลับที่สามคือการปรับแต่งขีดจำกัดบนของความเข้มข้นของอนุภาค โดยทั่วไป ห้องคลีนรูมจะสะอาดมากเมื่อเป็นแบบ As-build และเป็นการยากที่จะทดสอบความสามารถในการควบคุมอนุภาค ในเวลานี้ คุณสามารถลดขีดจำกัดสูงสุดของการยอมรับลงได้ เช่น:
คลาส 10,000 (0.3 μm <= 10,000) ตามที่สร้างไว้
คลาส 10,000 (0.5 μm <= 1,000) ตามที่สร้างไว้
จุดประสงค์คือเพื่อให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมยังคงมีความสามารถในการควบคุมอนุภาคเพียงพอเมื่ออยู่ในสถานะปฏิบัติการ

แกลลอรี่เคสห้องคลีนรูม

พื้นที่สะอาดคลาส 100

เวิร์คช็อปแสงสีเหลือง ห้องสะอาดแสงสีเหลือง

ห้องทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ (พื้นยก) มักใช้ในพื้นที่คลาส 100 และคลาส 1,000

ห้องสะอาดคลาส 100 ห้องสะอาดคลาส 100

ห้องสะอาดทั่วไป (พื้นที่สะอาด: คลาส 10,000 ถึงคลาส 100,000)

ห้องสะอาดคลาส 10,000

ข้างต้นคือการแบ่งปันบางส่วนเกี่ยวกับห้องสะอาด หากมีข้อสงสัยเพิ่มเติมเกี่ยวกับห้องคลีนรูมและตัวกรองอากาศ สามารถปรึกษาเราได้ฟรี


เวลาโพสต์: 28 เมษายน-2024
\